(مِنْ تَحْتِهِمُ) من حرف جر، تحت اسم مجرور بمن وعلامة جره الكسرة مضاف والهاء ضمير متصل مبني على الكسر في محل جر مضاف اليه، والجار والمجرور متعلقان ب
(تجري) .
(الْأَنْهارُ) فاعل مرفوع وعلامة رفعه الضمة الظاهرة على آخره.
(فِي جَنَّاتِ) الجار والمجرور متعلقان بمحذوف (حال) جنات مضاف.
(النَّعِيمِ) مضاف اليه مجرور وعلامة جره الكسرة الظاهرة على آخره.
(دَعْواهُمْ) مبتدأ مرفوع وعلامة رفعه الضمة المقدرة على آخره مضاف والهاء ضمير متصل مبني على الضم في محل جر مضاف اليه.
(فِيها) الجار والمجرور متعلقان ب (دعواهم) .
(سُبْحانَكَ) منصوب على المصدر وهو سد مسد الخبر، ويجوز أن يكون خبر لمبتدأ محذوف تقديره قولهم سبحانك.
(اللهُمَّ) منادى مبني على الضم محذوف منه حرف النداء والميم عوضا عن حرف النداء.
(وَتَحِيَّتُهُمْ) الواو حرف عطف، تحية مبتدأ مرفوع وعلامة رفعه الضمة الظاهرة على آخره مضاف وهم ضمير متصل مبني على الضم في محل جر مضاف اليه.
(فِيها) الجار والمجرور متعلقان ب (تحيتهم) .
(سَلامٌ) خبر مرفوع وعلامة رفعه الضمة الظاهرة على آخره.
(وَآخِرُ) الواو حرف عطف، آخر مبتدأ مرفوع وعلامة رفعه الضمة مضاف.
(دَعْواهُمْ) مضاف اليه مجرور وعلامة جره الكسرة المقدرة، مضاف والهاء ضمير متصل مبني على الضم في محل جر مضاف اليه.
(أَنِ) مخففة من الثقيلة واسمها ضمير الشأن المحذوف تقديره انه.
(الْحَمْدُ) خبر ان مرفوع وعلامة رفعه الضمة الظاهرة في آخره.